电容式压力传感器的开关电容接口

来源 :工业仪表与自动化装置 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zzjqwerty6
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引言目前,扩散硅压阻式桥路和离子注入式硅膜片集成压力传感器的线性都很好,但它们的温度特性差,功耗也较大。相比之下,电容式压力传感器的温度特性要好得多,功耗也小。它的灵敏度是压阻桥路压力传感器的10~20倍,正在研制中的开关—电容(SC)接口非常适用于 INTRODUCTION Presently, the linearity of diffused silicon piezoresistive bridges and ion-implanted silicon-diaphragm integrated pressure sensors are good, but their temperature characteristics are poor and their power consumption is also large. In contrast, the capacitive pressure sensor temperature characteristics are much better, power consumption is small. Its sensitivity is 10 to 20 times that of piezoresistive bridge pressure sensors, and the switch-capacitor (SC) interface under development is ideal for
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