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[学位论文] 作者:李呈德, 来源:北京工业大学 年份:1999
该文系统全面地对准分子激光光束特性、准分子激光与物质相互作作、准分子激光微细加工工艺、加工装备及其在微机械系统制造领域的应用等方面进行了深入研究.根据准分子激光...
[期刊论文] 作者:李呈德,万盈, 来源:光学精密工程 年份:1999
介绍了研制成功的掩模投影式实用型准分子激光微细加工机的主要技术指标、结构特点、研制中解决的关键单元技术,并简要介绍其应用。...
[期刊论文] 作者:李呈德,陈涛, 来源:激光技术 年份:2000
以准分子激光应用于微细加工为目的,采用了一套光束诊断技术对德国Lambda Physik LPX 305iF型KrF准分子激光器进行了全面鉴定。...
[期刊论文] 作者:李呈德,何明, 来源:北京理工大学学报:社会科学版 年份:2007
21世纪理学本科生面临的最大挑战是创新力。本科生导师制提供了培育创新力的理想环境。在北京理工大学这所研究型大学的理学专业实施本科生导师制,具有明显的可行性。预期可...
[期刊论文] 作者:李呈德,左铁钏, 来源:微细加工技术 年份:1998
介绍了激光掩模投影直刻技术,聚焦激光束栅扫描技术及激光辅助化学气相沉积等在微机械加工技术中的应用。...
[期刊论文] 作者:李呈德,郑积源, 来源:高科技与产业化 年份:1999
一、引言 在世纪之交,科学技术突飞猛进,各国之间政治、经济的竞争,演变为科学技术的竞争。因此,进入90年代后,各国政府进行了科技政策调整,并加大了对高新技术的投入,...
[期刊论文] 作者:李呈德,陈涛,万盈,, 来源:激光技术 年份:2000
[期刊论文] 作者:李呈德,万盈,左铁钏, 来源:光学精密工程 年份:1999
介绍了研制成功的掩模投影式实用型准分子激光微细加工机的主要技术指标、结构特点、研制中解决的关键单元技术,并简要介绍其应用。The main technical indexes, structural...
[期刊论文] 作者:李呈德,陈涛,左铁钏, 来源:中国激光 年份:1999
介绍了一种两级复眼式均束器的设计。它不仅均匀效果好,传输效率高,输出光束截面尺寸连续可调,而且为掩模投影式准分子激光微加工系统提供了恰当的照明数值孔径,是准分子激光进行......
[期刊论文] 作者:李呈德,万盈,陈涛,左铁钏, 来源:应用激光 年份:2001
设计了一种用于248nmKrF准分子激光投影刻蚀加工的反射式物镜。它不仅因无色差具有与可见光同轴观察对准的特性,还满足了激光微加工对物镜大倍率大工作距离的要求。A reflective obj......
[期刊论文] 作者:李呈德,万盈,陈涛,左铁钏, 来源:中国科学E辑:技术科学 年份:2001
简要描述了新开发的准分子激光微加工装备的结构特点 .系统地研究了准分子激光直刻高分子聚合物的机制及其与微结构制作精度的关系 .并以PVC微结构原型及其复制件的制作为例...
[期刊论文] 作者:李呈德,陈涛,万盈,左铁钏, 来源:应用激光 年份:2001
对在准分子激光微加工配套系统研制开发及微结构加工工艺研究的实际工作中碰到的准分子激光光束质量指标进行了详细分析,采用一整套光束诊断技术对Lambda Physik LPX 305iF型...
[期刊论文] 作者:李呈德,陈涛,万盈,左铁钏, 来源:激光技术 年份:2000
以准分子激光应用于微细加工为目的 ,采用了一套光束诊断技术对德国LambdaPhysikLPX 30 5iF型KrF准分子激光器进行了全面鉴定For the purpose of the application of excim...
[期刊论文] 作者:王丹翎,李呈德,罗乐,杨宏,龚旗煌, 来源:中国物理快报(英文版) 年份:2001
When a powerful femtosecond laser pulse was tightly focused into a bulk quartz, plasma generation occurred only in a very small focal volume. This extremely con...
[会议论文] 作者:罗乐,李呈德,王丹翎,蒋红兵,杨宏,夏宗炬,龚旗煌, 来源:2000年全国场强激光物理会议 年份:2000
飞秒脉冲强激光紧聚焦在透明电介质内部,产生高度非线性的电离过程和高度局域的高温等离子体,继而诱发介质内部的微爆炸.实验表明这种飞秒脉冲引起的光学击穿可以产生远小于...
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