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[会议论文] 作者：杨树明;王琛英;景蔚萱;蒋庄德;,
来源：陕西省机械工程学会第十次代表大会暨学术年会 年份：2014
针对纳米器件中的典型几何特征,制备了三种典型纳米结构,采用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等测量工具对所制备的纳米样板进行了测量、分析和表征.提出转换薄膜厚...
[期刊论文] 作者：蒋庄德,景蔚萱,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2004
介绍了纳米测量系统的组成以及纳米样板的研究现状.提出了两种制备纳米结构样板的方法:Si基底上的原子力显微镜(AFM)探针诱导阳极氧化工艺和Au膜上的AFM探针机械划刻工艺.最...
[期刊论文] 作者：景蔚萱,蒋庄德,
来源：光学精密工程 年份：2003
综述了原子力显微镜(AFM)在光盘质量检测中的应用.AFM能够在nm尺度上直接对光盘及其模板上的信息位几何结构的特征尺寸及其误差进行三维测量,从而可以建立生产工艺参数和信息...
[期刊论文] 作者：景蔚萱,蒋庄德,
来源：计量技术 年份：2003
本文介绍了纳米测量系统的组成和纳米样板的研究现状,讨论了AFM探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数,用该方法进行了一维纳米结构样板的制备,并对实验结果进行了分析....
[期刊论文] 作者：景蔚萱,蒋庄德,
来源：计量技术 年份：2004
本文首先介绍了原子力显微镜(AFM)的特点和影响光盘播放质量的主要参数,其次用AFM对光盘上记录信息用的凹坑深度、凹坑长度和侧壁角度等关键参数进行了测量,并对测量结果进行...
[期刊论文] 作者：景蔚萱,赵惠英,蒋庄德,
来源：计量学报 年份：2004
介绍了纳米样板的研究现状及制备工艺,特别对扫描探针显微镜(SPM)表面局域氧化反应工艺进行了详述;分析了原子力显微镜(AFM)探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数,原理为...
[期刊论文] 作者：蒋庄德,王琛英,杨树明,,
来源：中国工程科学 年份：2013
针对纳米器件中的典型几何特征，制备了3种纳米结构，采用扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）等测量工具对所制备的纳米样板进行了测量、分析和表征。提出转换薄膜厚度为线宽的......
[期刊论文] 作者：景蔚萱,蒋庄德,朱明智,
来源：中国科技论文在线 年份：2009
介绍了Au环微电极的制备和表征方法,该Au环微电极有望在电化学、生物MEMS等方面得到应用。首先设计专用夹具,并在直径为125μm的光纤基底上用电子束蒸发系统沉积厚度为300nm...
[期刊论文] 作者：朱明智,蒋庄德,景蔚萱,
来源：高等学校化学学报 年份：2006
微电极具有常规电极无法比拟的优良的电化学特性．它包括单微电极和微电极阵列，其中单微电极的整体尺寸小，可用于微区分析研究．目前微盘电极的工艺改善目标主要包括：电极整体尺寸小......
[期刊论文] 作者：朱明智,蒋庄德,景蔚萱,
来源：计量学报 年份：2005
针对原子力显微镜(AFM)的线宽和轮廓的精确测量,对AFM探针的原位有效参数进行了定义和表征,提出使用AFM探针的原位有效参数对AFM的线宽测量结果进行修正的模型.采用有效半径...
[期刊论文] 作者：朱明智, 蒋庄德, 景蔚萱,
来源：高等学校化学学报 年份：2005
超微电极具有常规电极无法比拟的优良的电化学特性. 超微电极包括单超微电极和超微电极阵列, 单超微电极响应电流较小, 一般仪器难以检测; 而超微电极阵列除具有单超微电极的...
[期刊论文] 作者：朱明智,蒋庄德,景蔚萱,
来源：分析化学 年份：2005
采用多层工艺和光刻方法在玻璃衬底上加工了亚微米级金叉指型超微带电极阵列(IDA),IDA电极的宽度为362 nm,电极表面位于沟槽内。实验表明,所加工的IDA电极可作为生物和化学传感器的一次性超微基体电极。采用电聚合的方法将葡萄糖氧化酶(GOD)和吡咯(PPy)固定于ID......
[期刊论文] 作者：赵凤霞,蒋庄德,景蔚萱,
来源：计量学报 年份：2010
为了对线边缘粗糙度（LER）和线宽粗糙度（LWR）进行分析和表征，采用电子束光刻工艺和感应耦合等离子体刻蚀工艺制备了两种纳米尺度栅线结构，用扫描电子显微镜（SEM）对所制备结构进行了检......
[期刊论文] 作者：王琛英,景蔚萱,蒋庄德,林启敬,韩枫,李磊,
来源：计量学报 年份：2017
将石墨烯材料薄膜制成可以通过高分辨透射电子显微镜（HRTEM）观察的横截面样，在室温20℃，变换放大倍数，通过HRTEM自带的测量软件得到的单次测量值为0．411nm，同时可以看到石墨烯材料形......
[期刊论文] 作者：王琛英,杨树明,李常胜,景蔚萱,林启敬,蒋庄德,张易军,,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2015
研究利用原子层沉积获得的小于10 nm Al_2O_3薄膜表面形貌特点。采用该技术获得4和8 nm的Al_2O_3薄膜,利用原子力扫描电镜(AFM)和扫描电镜(SEM)对薄膜表面形貌进行测量,通过...
[期刊论文] 作者：韩国强,景蔚萱,蒋庄德,朱明智,
来源：计量学报 年份：2010
利用各向异性化学湿法刻蚀工艺在Si（100）上加工了具有本征侧墙角（54．73°）的典型微机电系统（MEMS）梯形结构。用该微结构作为线宽测试结构，对其进行了原子力显微镜（AFM）和扫描电子显......
[学位论文] 作者：景蔚萱,
来源：西安交通大学 年份：2003
摘要该论文对扫描探针显微镜(SPM)制备纳米样板的相关问题进行了研究.提出了三种基于SPM的纳米样板制备方法,即,Si基底上的原子力显微镜(AFM)探针电场诱导阳极氧化方法、Ti膜...
[期刊论文] 作者：刘涛,杨树明,蒋庄德,,
来源：西安交通大学学报 年份：2017
为了揭示超振荡透镜(SOL)亚波长聚焦本质和高分辨率成像机理,阐述了超振荡透镜的三维全矢量电磁分析方法,包括矢量电磁聚焦和矢量电磁成像两个连续物理过程。采用矢量角谱理...
[期刊论文] 作者：刘涛,杨树明,蒋庄德,
来源：计量学报 年份：2016
微结构金属膜环带片是一类新颖的微纳光子学元件,应用于超分辨光学聚焦、纳米显微成像、精密工程测量等。阐述了微结构金属膜环带片的通用、快速矢量优化设计方法,适用于线偏...
[会议论文] 作者：刘涛,杨树明,蒋庄德,
来源：全国计量测试技术学术交流会 年份：2016
微结构金属膜环带片是一类新颖的微纳光子学器件,应用于超分辨光学聚焦、纳米显微成像、精密工程测量等.阐述了微结构金属膜环带片的通用、快速矢量优化设计方法,适用于线偏...
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