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[会议论文] 作者:穆莉兰;童洪辉;霍延峰;, 来源:'99全国荷电粒子源粒子束学术会议 年份:1999
根据全方位离子注入(PSII)工业样机实验和应用的需要,由等效电流磁场计算法获得的数据结果,设计了一种平面磁控溅射靶。并利用此平面磁控靶在一定的Ar、 N气体分压及不同电流、......
[期刊论文] 作者:穆莉兰rrrrrrrrn,童洪辉rrrrrrrrn,霍延峰, 来源:中国核科技报告 年份:1998
根据全方位等离子体源离子注入(PSII)工业样机实验和应用的需要,用等效电流磁场计算法获得的数据结果,设计了一种子面磁控溅射靶。并利用此平面磁控靶在一定的Ar、N_2气体分...
[会议论文] 作者:霍岩峰,陈庆川,童洪辉,冯铁民,邵益光,穆莉兰, 来源:'99全国荷电粒子源粒子束学术会议 年份:1999
该文通过对PSII装置的工作原理的简单介绍及对PSII-IM装置负载模型的分析、 计算,推导出了该装置等离子体负载与其等离子体参数的关系式,从而得出了该装置的等离子体负载的特性...
[期刊论文] 作者:童洪辉,霍岩峰,陈庆川,冯铁民,穆莉兰,崔西蓉,耿漫, 来源:中国核科技报告 年份:2000
报告了核工业西南物理研究院最近研制成功的改进型PSII―IM全方位离子注入工业样机。该机的真空室由不锈钢制成,其直径为1000 mm,长 1070 mm,采用多极会切磁场约束产生的等离...
[期刊论文] 作者:童洪辉,陈庆川,霍岩峰,王珂,穆莉兰,冯铁民,赵军,严兵,耿, 来源:核技术 年份:2002
报道了等离子体源离子注入(PSII)或等离子体浸没离子注入(PIII)及增强沉积工业机的实验结果及应用.该机真空室直径900mm, 高1050mm, 立式放置, 抽气系统由分子泵及机械泵构成...
[期刊论文] 作者:童洪辉,陈庆川,霍岩峰,王珂,穆莉兰,冯铁民,赵军,严兵,耿漫, 来源:核技术 年份:2002
报道了等离子体源离子注入 (PSII)或等离子体浸没离子注入 (PIII)及增强沉积工业机的实验结果及应用。该机真空室直径 90 0mm ,高 10 5 0mm ,立式放置 ,抽气系统由分子泵及机...
[期刊论文] 作者:赵青,耿漫,童洪辉,陈庆川,霍岩峰,孙爱萍,穆莉兰,郑永真,, 来源:核聚变与等离子体物理 年份:2004
研制了快速、准确、简单地测定PSII靶温度的系统,提出了用双元检测法动态测量PSII靶温度的方法.实验表明,双元检测法测量温度准确、可靠,且测温系统成本低、稳定性好....
[期刊论文] 作者:童洪辉,陈庆川,霍岩峰,王珂,穆莉兰,冯铁民,赵军,严冰,耿漫, 来源:真空 年份:2002
本文报告了核工业西南物理研究院最近研制开发的新一代全方位离子注入及增强沉积工业机。该机直径 90 0 m m,高 10 5 0 m m,立式放置 ,抽气系统由分子泵及机械泵构成并且实现...
[会议论文] 作者:童洪辉;陈庆川;霍岩峰;王珂;穆莉兰;冯铁民;赵军;严兵;耿漫;, 来源:'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议 年份:2001
本文报告了为深圳国家“八六三”计划材料表面工程技术研究开发应用中心研制开发的新一代全方位离子注入及增强沉积工业机.该机的真空室由不锈钢制成,外侧分层覆盖有永磁体、...
[期刊论文] 作者:甘明乐,童洪辉,霍岩峰,陈纳新,陈庆川,冯铁明,穆莉兰,王经权,邢大中,耿漫,尚振奎, 来源:真空与低温 年份:1997
等离子体源离子注入(PSII)是一种新的离子注入技术。该技术与其它相关技术的结合又扩大了其应用。介绍国内首次研制成功的多功能PSI工业样机的结构、性能、参数以及材料改性的初步结果......
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