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[期刊论文] 作者：茅盘松,,
来源：电子器件 年份：1995
本文介绍一种高可靠的具有自动过流保护的智能高压大功率ＶＤＭＯＳＦＥＴ，已研制出了漏源击穿电压大于２００Ｖ，正常工作电源大于２Ａ；自动保护保护过电流小于４Ａ的器件。工艺完全与浣ＶＤＭＯＳＦＥＴ一致；这种新颖ＶＤＭＯＳＦＥＴ结构的应用能......
[期刊论文] 作者：茅盘松,
来源：半导体技术 年份：1999
针对在ＭＥＭＳ加工中所要求的低温键合，提出了一种用氧等离子体激活处理来降低退火温度的低温硅片直接键合技术。研究了低温ＳＤＢ的特性并得出了经过氧等离子体处理的硅片界面能比常规同条......
[期刊论文] 作者：茅盘松,
来源：电子器件 年份：1996
本文介绍了一种扭摆式微硅型加速度计的工作原理，制作方法和测试电路。...
[期刊论文] 作者：茅盘松,
来源：电子器件 年份：1992
采用开关电容技术的Boxcar积分原理设计的,为测量电容式压力传感器微电容的接口电路已提出,它由Boxcar积分器,锁存器,脉冲宽度调制器和控制信号电路组成。 这个接口电路,采用...
[期刊论文] 作者：茅盘松,
来源：电子器件 年份：1996
本文论述微米／纳米技术的实质，发展状况及应用前景。微米／纳米技术的应用前景说明了它对国民经济和国防科技发展的深刻影响。...
[期刊论文] 作者：茅盘松,
来源：电子器件 年份：1995
本文介绍了利用硅片直接键合（ＳＤＢ）技术代替三重扩散，生产ＤＫ５５双极功率器件。实验说明，ＳＤＢ片代替三重扩散无需高温长时间的扩散，由于衬底质量好，器件特性得到提高，工艺过程中碎片率减少，生产效率......
[期刊论文] 作者：茅盘松,
来源：半导体技术 年份：1997
介绍了利用硅片直接键合技术代替三重扩散，生产ＤＫ５５双极功率器件，实验说明ＳＤＢ片代替三重扩散无需长时间高温扩散，由于衬底材料质量好，器件特性得到提高，工艺过程中碎片率减少，生产效率提高......
[期刊论文] 作者：茅盘松,
来源：微电子学 年份：1998
分析了几种常规ＢｉＣＭＯＳ门电路的特性，对合并互补（ＭＣ）ＢｉＣＭＯＳ集成电路的二输入与非门和１１级环形振荡器进行了实验研究，并与常规ＢｉＣＭＯＳ进行了比较。实验结果说明，ＭＣＢｉＣＭＯＳ具有电路结构简单，芯片面积小，工作速度高，负载能......
[期刊论文] 作者：茅盘松,
来源：传感器技术 年份：1996
详细介绍了一种平面振动式微硅型加速度计的工作原理，并用理论力学和材料力学阐述了这种加速度计的结构设计方法。...
[期刊论文] 作者：茅盘松,
来源：电力电子技术 年份：1998
研制出一种高可靠性、具有过流自保护功能的高压大功率ＶＤＭＯＳＦＥＴ器件，它采用与常规ＶＤＭＯＳＦＥＴ工艺相同，结构不同的设计。该器件的漏＝源击穿电压大于２００Ｖ〈正常工作电流大于２Ａ，过流自保护小于４Ａ，它能大大提高应......
[期刊论文] 作者：茅盘松,
来源：电子器件 年份：1988
硅集成传感器是目前几年传感器方面发展一个重要趋势.传感器和信息处理可集成在同一芯片上,提高了传感器的灵敏度、信噪比,可靠性,容易实现批量生产,小型化、成本低、而且可...
[期刊论文] 作者：孟军,茅盘松,
来源：电子器件 年份：1999
本文介绍了微硅加速度传感器自六、七十代发展至今，其代表产品的特点，对微硅加速度计三种典型代表形式进行了分析、指出其优缺点，并对目前微硅加速度计的发展趋势－检测空间加速度......
[期刊论文] 作者：黄金彪,茅盘松,
来源：传感器技术 年份：1992
硅材料是微电子技术的基础材料,近十年来,硅又作为一种机械材料广泛应用于微传感器和微执行器领域。目前已用硅材料(包括多晶硅)研制成了各种微压力传感器、微结构、微...
[期刊论文] 作者：黄金彪,茅盘松,
来源：传感技术学报 年份：1993
本文介绍的静电可变电容型和准静电感应型两种马达的转子直径均为16μm.研制出了槽宽为4μm、槽深为0.3μm的泵入式螺旋槽微止推空气轴承,以减小摩擦力....
[会议论文] 作者：袁景,茅盘松,
来源：第五届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：1997
该文对力平衡式加速度传感器的检测电容的非线性进行了分析，并从电路设计和结构设计上考虑进行补偿。...
[会议论文] 作者：袁景,茅盘松,
来源：第五届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：1997
该文简单介绍了一种新型非制冷红外探测器的工作原理。并描述了其它工艺过程及其关键工艺－－硅／硅直接键合技术。...
[期刊论文] 作者：谢世健,茅盘松,
来源：电子器件 年份：1991
本文介绍了一种集成双极型、CMOS和VDMOS于同一芯片上的智能功率集成电路.以开关电源为目标,介绍了各电路功能块的原理,对电路,版图和工艺进行了正向设计.该电路含有分源结构...
[期刊论文] 作者：茅盘松,王修伦,
来源：电子器件 年份：1995
本文讨论了微机械结构的微静电驱动技术的基本原理，同时结合硅微机械结构和材料特性，给出微静电驱动实现的考虑。...
[期刊论文] 作者：茅盘松,朱静远,
来源：电子工艺简讯 年份：1993
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[期刊论文] 作者：朱静远,茅盘松,
来源：传感器技术 年份：1993
介绍了多晶硅微机械薄膜的制备工艺,叙述了它的基本结构和工艺的研究,并给出了试验结果。...
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