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[期刊论文] 作者：赵寿南,
来源：广东工学院学报 年份：1973
本文引用连续介质模型和点阵模型的理论及有关推导,近似计算了硅中产生位错以及使位错滑移运动所需的应力,从而导出合适的应力(在1010达因/厘米2数量极范围内)有利于排除硅单...
[期刊论文] 作者：赵寿南,
来源：广东电子 年份：1993
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[期刊论文] 作者：赵寿南,,
来源：华南工学院学报 年份：1980
本文从理论上讨论了硅单晶生长中由于热场不对称、晶向偏离所产生的应力和提出氢缺陷的“SiO_2/Si界面”存在而产生应力的机理,近似分析计算了应力大小。指出采用对称热场、...
[期刊论文] 作者：蒋连生,赵寿南,
来源：红外研究 年份：1990
根据光弹性原理,利用红外光弹性测量系统,采用Senarmont补偿法,对离子注入工艺应力进行了测量。对离子注入工艺应力、退火后应力、应力的分布、应力随剂量和表面浓度的变化进...
[期刊论文] 作者：韩静,赵寿南,
来源：华南理工大学学报：自然科学版 年份：2005
提出了一种新的低温烧结硅/钼结构的方法.根据热弹性理论和复合材料层间应力理论,分析了不同烧结温度下硅/钼结构的层间应力情况,并采用红外光弹系统测量了硅片中的应力分布....
[期刊论文] 作者：黄岚,赵寿南,
来源：华南理工大学学报：自然科学版 年份：1994
本文采用光弹力学中的Ｓｅｎａｒｍｏｎｔ补偿法，用红外光弹仪测量并分析了单面扩散、双面扩散工艺在硅衬底中引入应力的分布规律及产生机理。研究了双源补偿扩散法掺杂技术消除应力的可行性及工......
[期刊论文] 作者：韩静,赵寿南,
来源：华南理工大学学报(自然科学版) 年份：2005
提出了一种新的低温烧结硅/钼结构的方法.根据热弹性理论和复合材料层间应力理论,分析了不同烧结温度下硅/钼结构的层间应力情况,并采用红外光弹系统测量了硅片中的应力分布....
[期刊论文] 作者：彭海鲸,赵寿南,
来源：红外与毫米波学报 年份：1998
参考热弹性理论和复合材料层间应力理论，研究了Ｓｉ片Ａｌ箔／Ｍｏ片烧结后的层间应力及硅片中的应力，热膨性能不同引起的热应力成硅片中的中间和边缘区域分布情况不一样，推导出适用于边级区域......
[期刊论文] 作者：廖常俊,赵寿南,
来源：发光学报 年份：1997
在用于发光器件制造的多层ＭＯＣＶＤ外延技术中，用高速氢气流冲洗管路，混合有机源获得晶格匹配好，而且界面过度层薄膜的突变异质结界面。...
[期刊论文] 作者：王玉中,赵寿南,
来源：华南理工大学学报：自然科学版 年份：1995
参考热弹性力学中的薄板热应力理论，推导出硅薄片中扩散应力的表达式；讨论了单面扩散和双面扩散硅片中的应力分布规律；并将理论结果跟光弹实验结果作了比较，发现它们之间有比较好......
[期刊论文] 作者：赵寿南,潘永雄,,
来源：华南理工大学学报(自然科学版) 年份：1993
本文根据双折射原理,采用红外光弹三向进光法,对硅晶片的二维应力状态进行测量和研究。测定了在器件加工中{111}和{100}硅晶片各层的主应力的大小和方向,并对测量误差、三个进光方向选定和测量结果进行了分析和讨论。......
[期刊论文] 作者：李观启,赵寿南,
来源：华南理工大学学报：自然科学版 年份：1995
利用红外激光光弹测量系统和森纳蒙特补偿法，测量了硅中的氧化应力；研究了中间退火和后退火条件对硅中氧化应力的影响，以及氧化应力与ＳｉＯ２膜的电击性和固定电荷密度的关系。......
[期刊论文] 作者：冯文修,赵寿南,,
来源：华南理工大学学报(自然科学版) 年份：1990
本文针对n型硅单晶,在常温下进行霍尔效应实验,研究了霍尔系数与压缩应力的关系。研究结果表明,样品的霍尔系数绝对值随着作用于样品压缩应力的增加而减少。应力增加一个数量...
[期刊论文] 作者：梁汉成,赵寿南,
来源：广东电子 年份：1992
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[期刊论文] 作者：陈先带,张红,赵寿南,
来源：华南理工大学学报(自然科学版) 年份：2002
采用红外光弹测量法测量用磁控溅射淀积在SiO2/Si晶片表面的Cu膜在Si衬底中引入的应力.结果表明:SiO2在Si衬底中引入张应力,而Cu在Si衬底中引入压应力.在Cu/SiO2/Si结构中,随...
[期刊论文] 作者：王玉中,赵寿南,梁海生,
来源：华南理工大学学报(自然科学版) 年份：1995
参考热弹性力学中的薄板热应力理论，推导出了硅薄片中扩散应力的表达式；讨论了单面扩散和双面扩散硅片中的应力分布规律，并将理论结果踉光弹实验结果作了比较，发现它们之间有比较......
[期刊论文] 作者：黄岚,梁汉成,赵寿南,
来源：红外研究 年份：1989
本文利用红外激光光弹性仪,采用光测弹性力学中的Senarmont补偿法,解决了硅晶片小数级条纹值定量测量问题.在考虑硅晶体光弹性效应各向异性的基础上,实测了(111)、(100)单晶...
[期刊论文] 作者：王玉中,赵寿南,黄岚,
来源：红外与毫米波学报 年份：1995
利用红外光弹系统，采用森纳蒙特（Ｓｅｎａｒｍｏｎｔ）补偿法，对功率整流管制备过程中扩散和镀镍工艺所引入的残余应力进行了测量和讨论．获得扩硼铝、扩磷和镀镍硅片中的应力值，并给出了残余应力在硅衬......
[期刊论文] 作者：蒋连生,赵寿南,梁汉成,,
来源：红外研究 年份：1990
根据光弹性原理,利用红外光弹性测量系统,采用Senarmont补偿法,对离子注入工艺应力进行了测量。对离子注入工艺应力、退火后应力、应力的分布、应力随剂量和表面浓度的变化进...
[期刊论文] 作者：梁汉成,覃甘明,赵寿南,
来源：仪器仪表学报 年份：1989
介绍了一种利用微型计算机自动采集和处理数据的硅单晶应力检测系统。该系统由红外光源、偏振元件、样品架、红外摄像机、电视监视器、专用I/O 接口以及微型计算机组成。用自...
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