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[学位论文] 作者：黑立富,,
来源： 年份：2015
论文研究了沉积工艺参数(输入功率、衬底温度、甲烷浓度、表面预处理)及氮掺杂等对气体循环旋转电弧DC Arc Plasma Jet CVD金刚石单晶外延生长的影响规律,研究结果表明衬底温...
[期刊论文] 作者：耿春雷,唐伟忠,黑立富,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2011
线形同轴耦合式微波等离子体CVD法是在硬质合金微型钻头（微钻）表面沉积金刚石涂层的最佳方法之一。本文首先研究了酸碱两步预处理后微钻表面的形貌和成分,然后研究了微钻工作表......
[期刊论文] 作者：孟宪明,唐伟忠,黑立富,,
来源：新材料产业 年份：2006
化学气相沉积金刚石涂层硬质合金工具综合了金刚石和硬质合金的优异性能。并且性能价格比非常好，是有发展前途的、理想的工具材料之一。它的应用前景广阔，可广泛应用于难加工材......
[期刊论文] 作者：吕反修,宋建华,唐伟忠,黑立富,,
来源：热处理 年份：2008
金刚石具有最高的硬度，极低的摩擦因数，最高的热导率和极佳的化学稳定性，因此是最理想的工具涂层材料。由于金刚石膜涂层硬质合金工具可能具有金刚石的硬度和硬质合金的强韧性的......
[期刊论文] 作者：刘伟,唐伟忠,黑立富,蒋开云,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2007
在金刚石膜的化学气相沉积过程中，使用脉冲电源激励的微波等离子体可以提高金刚石膜的沉积速率或金刚石膜的质量。本文使用Langmuir探针研究了在工频脉冲电源激励条件下形成的...
[期刊论文] 作者：唐伟忠,蒋开云,耿春雷,黑立富,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2006
本文将讨论一种新型的微波等离子体CVD设备———线形微波等离子体CVD设备和其在金刚石薄膜制备技术中的应用。利用Langmuir探针方法对线形微波等离子体CVD设备产生的H2等离...
[期刊论文] 作者：魏俊俊,黑立富,高旭辉,李成明,,
来源：人工晶体学报 年份：2013
本文尝试采用微波等离子体CVD技术，实现金刚石膜的制备以及金刚石膜表面的氨等离子体处理，实现氨基功能化修饰金刚石膜的制备。通过扫描电子显微镜（SEM）、拉曼光谱（Raman）、X射线光......
[期刊论文] 作者：刘素田,刘伟,黑立富,唐伟忠,吕反修,,
来源：北京科技大学学报 年份：2007
利用微波等离子体辅助化学气相沉积的方法，以H2、CH4和D4（八甲基环四硅氧烷）为沉积先驱物，探索了一种在硬质合金基底上制备出含Si元素的金刚石涂层的新工艺．试图利用这种新的方法，......
[期刊论文] 作者：吕反修,唐伟忠,李成明,宋建华,黑立富,,
来源：金属热处理 年份：2008
综述了北京科技大学在直流电弧等离子体喷射CVD金刚石膜沉积系统研制和改进及大面积高质量(包括光学级)金刚石自支撑膜沉积的研究进展和产业化状况。用同样技术研发出了可用...
[期刊论文] 作者：刘金龙,李成明,陈良贤,黑立富,吕反修,,
来源：无机材料学报 年份：2010
随着CVD人工合成金刚石薄膜质量的不断提高,其优异的电学性能在高频、大功率领域特别是场效应管中的应用受到了极大地关注.制作金刚石薄膜场效应管,电子级质量的薄膜、形成良...
[期刊论文] 作者：黑立富,唐伟忠,樊凤玲,耿春雷,吕反修,
来源：人工晶体学报 年份：2005
本文介绍了利用线形同轴耦合式微波等离子体CVD法在硬质合金微型钻头(微钻)上沉积金刚石涂层的初步实验结果.微型钻头的直径为0.5mm,其中WC晶粒的尺寸约为0.5μm.在沉积前,先...
[期刊论文] 作者：耿春雷,黑立富,刘素田,唐伟忠,吕反修,,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2006
系统研究了直径为0.5mm的细晶粒微型钻头金刚石涂层前预处理工艺对其断裂强度的影响,并尝试使用线形同轴耦合式微波等离子体CVD方法对预处理后的微型钻头进行了金刚石涂层.其...
[期刊论文] 作者：刘素田,黑立富,耿春雷,唐伟忠,吕反修,,
来源：表面技术 年份：2006
采用自行研制的Q-500金刚石涂层沉积设备，同时采用两种不同结构的等离子体炬对经酸碱二步法处理后的硬质合金钻杆（YFD6）分别进行了金刚石涂层的沉积，并对沉积后的样品表面进行了......
[期刊论文] 作者：李成明,陈良贤,刘政,黑立富,吕反修,,
来源：材料热处理学报 年份：2004
利用非对称双极脉冲磁控溅射制备了不用Co-La掺杂量的Ti-Co-La-N纳米复合薄膜。分别用扫描电子显微镜、X射线衍射、纳米压痕仪、划痕仪以及摩擦磨损仪研究了薄膜的表面形貌、...
[期刊论文] 作者：郭会斌,吕反修,李成明,黑立富,王耀华,,
来源：材料热处理学报 年份：2004
为了提高金刚石膜的红外透过率和高温抗氧化性能,采用纯钇(Y)金属靶,使用直流反应磁控溅射法在光学级金刚石自支撑膜表面制备了Y2O3薄膜。对比研究了光学级金刚石自支撑膜和Y...
[期刊论文] 作者：李成明,陈良贤,刘金龙,魏俊俊,黑立富,,
来源：中国科技论文 年份：2016
为了适应高速气动强烈冲击对金刚石自支撑膜光学窗口强度的需要,提出了等离子体电弧高温处理金刚石自支撑膜以提高其强度的方法,对直径100mm的金刚石自支撑膜进行低气压电弧...
[期刊论文] 作者：樊凤玲,唐伟忠,黑立富,吕反修,刘素田,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2005
利用微波等离子体化学气相沉积方法,以H2、CH4和八甲基环四硅氧烷(D4)为原料,在硬质合金基体上沉积了金刚石涂层.与一般只使用H2、CH4为原料时的情况相比,金刚石涂层与硬质合...
[期刊论文] 作者：黑立富,刘杰,刘金龙,李成明,宋建华,吕反修,,
来源：人工晶体学报 年份：2012
本文研究了金刚石粉手工研磨及超声波震荡两种预处理方法对硅片衬底及超纳米金刚石膜表面粗糙度和形貌的影响,利用表面轮廓仪、X射线衍射分析（XRD）、激光拉曼、场发射扫描电子......
[期刊论文] 作者：黑立富,徐俊波,陈良贤,李成明,吕反修,,
来源：材料工程 年份：2012
采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN／NbN纳米多层膜，利用X射线衍射分析（XRD）、纳米压痕仪、扫描电子显微镜（SEM）表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌......
[期刊论文] 作者：吕反修, 黑立富, 李成明, 唐伟忠, 李国华, 郭辉, 孙,
来源：超硬材料工程 年份：2018
化学气相沉积（CVD）大尺寸高质量金刚石单晶是近年来在CVD金刚石膜研究领域所取得的重大研究进展之一。迄今为止的研究,绝大多数都是采用微波等离子体CVD,在高腔压下（10-30kPa）进......
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