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[期刊论文] 作者:王蕊,喻利花,许俊华,, 来源:机械工程材料 年份:2013
采用多靶反应磁控溅射技术在不同碳靶功率(碳靶功率与碳含量成正比)下制备了WCN纳米复合膜,采用X射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪等对薄膜结构和性能进行表征......
[期刊论文] 作者:曹峻,许俊华,喻利花,, 来源:无机材料学报 年份:2013
采用多靶磁控溅射技术, 制备了 TiN、VCN 单层膜及调制比为 1:1 的系列调制周期的 TiN/VCN 多层膜. 利用 X 射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜研究...
[期刊论文] 作者:曹峻,许俊华,喻利花, 来源:粉末冶金材料科学与工程 年份:2013
采用多靶磁控溅射技术,制备TiCN、VCN单层膜及一系列调制比为1的不同调制周期的TiCN/VCN多层膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜,研究各种薄......
[期刊论文] 作者:喻利花,苑彩云,许俊华,, 来源:材料工程 年份:2013
用磁控溅射方法制备了一系列不同Si含量的NbSiN复合薄膜。采用色散能谱仪、x射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损仪表征复合膜的成分、微结构、力学性能以及室温和高温摩擦...
[期刊论文] 作者:喻利花,王蕊,许俊华,, 来源:材料热处理学报 年份:2013
采用多靶反应磁控溅射设备制备了一系列不同基体负偏压的W-C-N复合膜。采用X射线衍射仪、扫描电镜、能量色散谱仪、纳米压痕仪和摩擦磨损仪对薄膜进行表征。结果表明:当负偏...
[期刊论文] 作者:马冰洋,喻利花,许俊华,, 来源:粉末冶金材料科学与工程 年份:2013
采用非平衡磁控溅射法制备Zr1-xSixN薄膜,利用能谱分析、x射线衍射、扫描电镜、纳米压痕仪和摩擦磨损仪等对薄膜的化学成分、微结构、力学性能及摩擦磨损性能进行研究。结果表...
[期刊论文] 作者:马冰洋,喻利花,许俊华,, 来源:粉末冶金材料科学与工程 年份:2013
采用非平衡磁控溅射法制备不同V含量的ZrVCN复合薄膜,利用能谱分析、X射线衍射以及纳米压痕仪与摩擦磨损仪等研究 V 含量对薄膜的成分、微结构、硬度与摩擦性能的影响。结果表...
[期刊论文] 作者:马冰洋, 喻利花, 曹峻, 许俊华,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2013
通过非平衡磁控溅射的方法制备了不同调制比的ZrCN/VN纳米结构多层膜,采用X射线衍射、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪等对薄膜的微结构、力学性能及摩擦性能进行了研究。结果表...
[期刊论文] 作者:薛雅平,曹峻,喻利花,许俊华,, 来源:中国有色金属学报 年份:2013
采用磁控溅射技术制备一系列不同负偏压的TaN薄膜。分别采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、原子力显微镜、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪研究不同负偏压对单层TaN薄膜的微观结...
[期刊论文] 作者:喻利花,赵强,马冰洋,许俊华,, 来源:粉末冶金材料科学与工程 年份:2013
采用磁控溅射法,以不同的B靶功率(分别为24,30,60,90和120 W),在单晶硅(100)和不锈钢基底上制备一系列不同B含量的ZrBN复合膜,利用扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪(CSM)和摩擦......
[期刊论文] 作者:许俊华,薛雅平,曹峻,喻利花,, 来源:无机材料学报 年份:2013
采用磁控溅射仪制备了一系列不同V含量的TaVN复合膜,利用X射线衍射仪研究复合膜以及磨痕的相组成,利用纳米压痕仪表征复合膜的硬度,采用高温摩擦磨损实验机研究了复合膜的室...
[期刊论文] 作者:喻利花,赵强,马冰洋,许俊华, 来源:粉末冶金材料科学与工程 年份:2013
采用反应磁控溅射法分别在单晶硅(100)和不锈钢基底上沉积不同W含量的Zr1-xWxN(x=0.17,0.28,0.36,0.44,0.49)复合膜,利用扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机......
[期刊论文] 作者:陈超,鞠洪博,喻利花,许俊华,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2013
采用射频磁控溅射制备不同V含量的CrSiVN薄膜。利用X射线衍射、扫描电镜、X射线能量色散谱、纳米压痕仪和摩擦磨损实验对薄膜的相结构、形貌、成分和摩擦性能进行分析。结果...
[期刊论文] 作者:陈超,鞠洪博,喻利花,许俊华,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2013
采用射频磁控溅射制备不同W含量的CrSiWN薄膜。利用X射线衍射、扫描电镜、能量散射谱、纳米压痕仪和摩擦磨损实验机对薄膜的相结构、形貌、成分和摩擦性能进行分析。结果表明...
[期刊论文] 作者:喻利花,马冰洋,曹峻,许俊华,, 来源:物理学报 年份:2013
通过非平衡磁控溅射的方法制备了不同V含量的(Zr,V)N复合薄膜,采用EDS,XRD,XPS,纳米压痕仪和摩擦磨损仪等对薄膜的化学成分、微结构、力学性能及摩擦性能进行了研究.结果表明...
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