冷阴极离子源相关论文
叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热阴极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。
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《离子辅助蒸发新工艺研究》课题于1991年6月7日通过院级科研项目鉴定。这一课题是兵器工业总公司下达的,由仪器工程系严一心副教......
四、对工业自动质谱仪器的结构及某些技术问题的建议质谱仪器本身已有半个世纪的发展历史。早期的质谱仪器用于发现同位素,测定原......
本文回顾了工业自动质谱仪器“在线”应用的历史,并且指出了它的许多突出的优点。可以相信,与其它许多分析仪器相比较,在近代石油......
本文介绍一种高纯PF_3气体的简易制作方法。给出所研制的PF_3气体在L1-2离子注入机上质谱分析的结果以及工艺试验结果。结果表明可......
DWY—84A型离子注入与离子束混合两用机 由东北工学院物理系研制的DWY—84A型离子注入与离子束混合两用机(见外形照片),于今年6月......
叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热随极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。......
3月14日,机械电子工业部在我院召开“宽束冷阴极离子源及其在离子辅助镀膜中的应用”课题鉴定会。本课题是由原兵器丁业部兵器科学......
采用五栅网离子能量测量装置和法拉第筒测量了宽束冷阴极离子源的离子能量和离子束流密度．当Ar气流量为20sccm，在不同的放电电压和引......
