智能剥离(smart cut)技术是近年来刚刚兴起的一种新型的形成SOI材料的方法.它所形成的SOI材料其顶层硅膜具备单体晶硅的优点,同时......

利用光致发光谱(PL)和二次离子质谱(SIMS)检测了不同退火处理的SIMOX材料的顶层硅膜.实验结果显示,SIMOX顶层硅膜的PL谱有三个峰:......

利用光致光发谱（ＰＬ）和二次离子质谱（ＳＩＭＳ）检测了不同退火条件下处理的SIMOX材料的顶层硅膜，实验结果显示，SIMOX顶层硅膜的PL谱有三个峰：它们是能......

介绍了SDB/SOI(Silicon Direct Bonging/Silicon On Insulator)硅材料顶层硅膜均匀性的控制方法.顶层硅膜均匀性控制不好,会直接影......