氮气分压对AlCrTiSiN多元超晶格涂层微观结构及力学性能的影响

来源 :第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jm8888jm8888
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  采用多孤离子镀技术在高速钢表面制备了A1CrTiSiN超晶格涂层,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜、纳米压痕仪、划痕仪和磨损仪,系统的研究了多孤离子镀过程中氮气分压对AlCrTiSiN超晶格涂层微观结构及力学性能的影响。研究结果表明,不同氮气分压的AlCrTiSiN超晶格涂层均由纳米的(Cr,Al)N相、(Ti,Al)N相和(Cr,Al)2N相以及非晶态的Si相和Si3N4相组成。与氮气分压为4Pa的涂层相比,2Pa或3Pa的涂层具有更高的硬度、抗载荷能力和涂层-基体结合强度,以及更低的摩擦系数及磨损率。此外,45钢和铸铁切削实验表明,AlCrTiSiN涂层刀具较AlCrN涂层刀具有更好的切削性能,无涂层刀具具有最差的切削性能。
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