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该文介绍了用SOI结构实现高温超高压力（大于60MPa）传感器的研制。实现了超高压力下具有0.14℅的非线性输出，并且使用温度达到200℃；零点时漂小于0.1mV/4h；零点温漂和灵敏度温漂分别为0.65×10<-4>/<0>CF.S、0.22×10<-4>/<0>CF.S。并且已提供给用户使用，即将全面推向市场。