硅通孔MOS电容效应的电气建模分析

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微电子系统的三维集成极大地缩短了互连长度、时延和减小系统尺寸,同时还可通过异质集成实现多功能性。硅通孔是实现三维集成系统高性能的关键模块。本文详细阐述了硅通孔MOS电容效应的电气模型,并对硅通孔的几项几何和材料参数进行了参数扫描分析,研究了各项参数对TSV电容-电压曲线的影响。
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