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通过对场发射压力传感器各种结构形式和研究进展的综合和比较,阐明了半导体场致电子发射效应的高技术应用途径;传感技术中纳米硅薄膜的引入,在理论和实践上都有着重要的意义.
纳米硅薄膜场发射效应的传感技术应用进展
【摘 要】
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通过对场发射压力传感器各种结构形式和研究进展的综合和比较,阐明了半导体场致电子发射效应的高技术应用途径;传感技术中纳米硅薄膜的引入,在理论和实践上都有着重要的意义.
【机 构】
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北京理工大学电子工程系(北京)
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年期
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