论文部分内容阅读
硅片经清洗后，用热氧化法生长ＳｉＯ〈，２〉，并溅射Ｐｔ膜，刻蚀出所需的Ｐｔ电阻图形，经热处理，减薄、分割后，作为平面热线型气敏元件加热电阻。通过实验，分析了影响Ｐｔ与ＳｉＯ〈，２〉附着力的因素、溅射条件和热处理条件对Ｐｔ膜性能的影响，并确定了Ｐｔ膜制备的最佳条件。
平面热线型气敏元件Pt加热电阻研制
【摘 要】
：
硅片经清洗后，用热氧化法生长ＳｉＯ〈，２〉，并溅射Ｐｔ膜，刻蚀出所需的Ｐｔ电阻图形，经热处理，减薄、分割后，作为平面热线型气敏元件加热电阻。通过实验，分析了影响Ｐｔ与ＳｉＯ〈，２〉附着力的因素、溅射条件和热
【机 构】
：
沈阳工业大学电子系
【出 处】
：
第七届全国湿度与水分学术交流会暨第五届气湿敏学术交流会
【发表日期】
：
1998年期
其他文献
讨论了平面连杆机构急回系数、极位夹角与原动曲柄转角之间的关系,采用分段函数给出急回系数与极位夹角的通用关系式,解决了目前机械原理教科书中所确定的急回系数与极位夹角
该文证明了以三人代数曲线y=ax+bx+cx+d为下变集的平面三次多项式系统可以存在极限环（在奇点的小邻域内）。
对平面上任意给出的点集，使用一个从左至右的平面扫描，维持扫描通过的点的凸壳可以生成点集的Ｖｏｒｏｎｏｉ图。该文讨论用此方法的平面扫描生成Ｖｏｒｏｎｏｉ图算法的设计与实现。给出算法能简单地处理有
根据平面磨削过程振动信号方差变化的三个阶段，采用线性回归理论，设计了平面磨削颤振在线识别方法；颤振预报后，采用在线调节工作台进给速度且按时变的方法控制平面磨削颤振。试验