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本文从模态分析角度推导出多维力传感器敏感单元的位置与传感器动态特性之间的关系，针对传感器敏感单元位置动态响应与各阶模态之间的关系进行了理论分析，并基于有限元模型分析得到膜片式传感器结构的几个低阶基本振动模式，利用低阶模态去重构传感器本身动态过程中的信息。
多维力传感器的动态特性与敏感单元位置优化设计
【摘 要】
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本文从模态分析角度推导出多维力传感器敏感单元的位置与传感器动态特性之间的关系，针对传感器敏感单元位置动态响应与各阶模态之间的关系进行了理论分析，并基于有限元模型分析
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所 合肥 230031
【出 处】
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中国人工智能学会第10届全国学术年会
【发表日期】
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2003年期
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