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本文提出并研究了一种真空微电子压力传感器阵列和薄膜铂电阻温度传感器集成系统,通过计算机模拟进行了优化设计,完成了初步样品的制备.
用于智能机器人的微型化压力传感器阵列与温度传感器集成系统
【摘 要】
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本文提出并研究了一种真空微电子压力传感器阵列和薄膜铂电阻温度传感器集成系统,通过计算机模拟进行了优化设计,完成了初步样品的制备.
【机 构】
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中国科学院电子学研究所
【出 处】
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“面向新世纪中国机器人产业化发展论坛”大会
【发表日期】
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2000年10期
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