键合性能与键合点铝层特性关系分析——以S0110制品为例

来源 :2003中国国际集成电路研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:savages8850
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本文主要以S0110制品为例,对影响键合工序剥离强度的几种因素进行了分析和阐述,并对剥离强度的优劣与键合点铝层特性之间的关系进行了重点论述。
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