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键合性能与键合点铝层特性关系分析——以S0110制品为例
键合性能与键合点铝层特性关系分析——以S0110制品为例
来源 :2003中国国际集成电路研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:savages8850
【摘 要】
:
本文主要以S0110制品为例,对影响键合工序剥离强度的几种因素进行了分析和阐述,并对剥离强度的优劣与键合点铝层特性之间的关系进行了重点论述。
【作 者】
:
史晓娟
贾锁辉
【机 构】
:
首钢日电电子有限公司
【出 处】
:
2003中国国际集成电路研讨会
【发表日期】
:
2003年期
【关键词】
:
键合性能
键合点
铝层
关系分析
剥离强度
重点论
制品
工序
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本文主要以S0110制品为例,对影响键合工序剥离强度的几种因素进行了分析和阐述,并对剥离强度的优劣与键合点铝层特性之间的关系进行了重点论述。
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