先进集成电路封装复合材料——Cu/ZrW<,2>O<,8>制备技术的研究

来源 :江苏大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bbcat1982
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
微电子工业的迅速发展,使得电子元器件散热量的大大增加,因而对封装材料的热性能提出了更高的要求。即需要较低的热膨胀系数(和Si或GaAs相匹配)和较高的导热系数的封装材料,因此以金属、氧化物及其复合材料作为封装材料成为新的研究热点。本文围绕负热膨胀材料ZrW2O8的合成及其与Cu复合制备新型膨胀系数可控的封装材料展开相关的研究工作。负热膨胀(Negative thermal expansion,简称NTE)材料研究是材料科学中近年来新兴的学科分支。本文利用Cu的高导热率和ZrW2O8优异的负热膨胀性能制备了Cu-ZrW2O8复合材料,以满足上述性能要求。同时,为了改善ZrW2O8在Cu基体中的分散特性;改变Cu和ZrW2O8的异相结合状态;降低界面残余应力,采用非均匀沉淀法和化学镀法制备了Cu-ZrW2O8包覆粉体,作为制备复合材料的原料。据此,本文进行了如下研究:(1)以ZrO2和WO3为原料,在传统固相法的基础上采用分步固相法制备ZrW2O8粉体,粉体颗粒尺寸比传统固相法制备的有所降低,达到1×2μm。研究了ZrW2O8粉体的负热膨胀性能,热膨胀仪测试表明,在室温到160℃时,热膨胀系数为-8.51×10-6K-1;200~700℃时,热膨胀系数为-2.44×10-6K-1。整个测量温度范围内的平均热膨胀系数为-3.81×10-6K-1。(2)以非均匀成核法和化学镀法成功制备出Cu包覆ZrW2O8粉体,在非均匀成核法中研究了不同的反应液浓度和反应液滴加方式对包覆效果的影响,研究了不同的表面活性剂对包覆粉体分散效果的影响;在化学镀法中考察了pH值,主盐浓度,还原剂浓度,络合剂浓度,装载量等对包覆效果的影响,用X射线衍射仪(XRD)对复合粉体进行物相分析;用扫描电子显微镜(SEM)对粉体的形貌进行表征。(3)以化学镀法制备的包覆粉体为原料,制备复合材料。通过压制压力的优选,以冷压方式压制获得了复合材料的坯体,进而对烧结工艺进行了系统试验,获得了400℃保温2h的优化工艺,获得了较好的效果,利用H2保护可以避免Cu的氧化。以扫描电子显微镜(SEM)对复合材料的表面和断面进行了表征;考察了不同质量比的Cu-ZrW2O8复合粉体所制备的复合材料的热膨胀性能,发现ZrW2O8的加入可以对Cu的热膨胀系数进行控制。
其他文献
混凝土不是一劳永逸的耐久材料,混凝土工程也有其一定的使用年限。混凝土结构在长期自然环境和使用条件下,会逐渐老化、丧失耐久性能,影响了结构物的使用功能和安全。沿海铁路客
We focus on the high frequency current method which is widely applied in the partial discharge (PD) detection of cables.Aiming at guaranteeing the accuracy of t
城市污水处理厂产生的大量剩余污泥成为越来越严重的环境和社会问题。剩余污泥破解能够破坏污泥絮体结构及菌体胞壁,使絮体内有机物及菌体细胞内含物溶出,难降解的固体性物质向易降解的溶解性物质转变,从而实现污泥的减量化与资源化。高压喷射法(High-pressure Jet Flow, HPJF)破解污泥探索研究为本论文研究内容之一,从循环次数、喷射压力、靶距、污泥浓度(Mixed Liquor Suspe
随着我国经济的飞速发展,人们的生活水平也在不断提升,对精神生活的追求也越来越高,为了能够充分满足社会群众的精神需求,近年来,社会各界越来越重视群众文化建设工作.然而,
小学数学核心素养的培养是小学数学教育研究领域一个让人关注的热点,在过去相当长的一段时间里比较重视认知教育和应试的教学方法,而相对忽视对学生独立思考和创造能力的培养
粗木质残体(coarse woody debris,CWD)是直径≥2.5 cm的死木质物。大气N沉降增加会显著影响森林粗木质残体分解,但是目前相关研究较少。本文采用定位跟踪实测方法,比较分析施N对
中国近年来风电得到快速发展,自2010年起风电累计装机容量位居全球第一。随着风电的装机和发电量在电力结构中稳步上升,风电在中国能源战略中的地位愈加重要。面对风电的快速发
我们在Excel中创建的工作表,即使加上了各种样式的框线,其实仍然只是一种最低层次的表格,如果将其化为真正的表格(又称超级表),那么可以实现许多意想不到的功能.
期刊
随着现代生活方式的改变,外出就餐已成为一种重要的社交行为。消费者需要的不仅仅是满足口舌之需,而是在独特的就餐环境下获得另类的就餐体验。未来餐饮空间室内设计的核心原
壬基酚聚氧乙烯醚(Nonylphenol Polyethoxylates, NPnEOs, n=1~20)是非离子表面活性剂的主要成分,广泛应用于人类生活与生产活动中。废弃的NPnEOs通过市政排水管网进入污水处理厂或自然水体,经过微生物的降解作用,逐步转化为短链的壬基酚聚氧乙烯醚(Short-ChainNonylphenol Polyethoxylates, SC-NPnEOs)及壬基酚(Non