La1-xCaxMnO3:Agy薄膜激光感生电压的研究

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钙钛矿锰氧化物La1-xCaxMnO3以其优异的物理性能和丰富的电磁相图受到了高度关注。高的金属-绝缘体转变温度(Tp)和的电阻温度系数(TCR)以及激光感生电压效应(LIV)等性质为设计和制备具有高性能的光探测器件、红外探测器等仪器奠定了基础。本论文以La1-xCaxMnO3:Ag材料为主要研究对象,采用溶胶凝胶法制备La1-xCaxMnO3:Ag多晶材料,然后使用紫外脉冲激光沉积技术制备薄膜。通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、电阻温度曲线(R-T)、原子力显微镜(AFM)、LIV信号测试等对靶材以及薄膜的结构性能进行了分析和表征。采用溶胶凝胶法制备La1-xCaxMnO3:Ag0.2(x=0.33,0.3,0.28)多晶材料,XRD分析结果说明材料均具有良好的结晶性能,SEM测试表明样品形貌均匀,晶粒连接紧密,没有明显的缺陷。La0.67Ca0.33MnO3:Ag0.2多晶材料具有较高的Tp(270K),而La0.72Ca0.28MnO3:Ag0.2多晶材料具有更高的TCR(78.8%·K-1),两种材料都有比较大的晶粒,分别为67.24μm和74.96μm。采用PLD技术在不同衬底上制备了不同厚度的La0.67Ca0.33MnO3:Ag0.2薄膜。衬底和薄膜间的失配度和应力类型会对薄膜性能造成一定影响,在失配度较小的(LaAlO30.3-(Sr2AlTaO60.7(LSAT)衬底上生长的薄膜具有更高的TCR,压应力作用下(LAO衬底)的薄膜具有相对较高的Tp和LIV峰值电压(Up),而处于拉应力下的薄膜性能较差。此外,衬底倾斜角度也会对薄膜有一定影响,随着衬底角度增加,LCMO:Ag/LAO薄膜的激光感生电压的响应时间(τ)增加,峰值电压增大,当衬底倾斜角度为15°时,峰值电压为1.74V。生长在倾斜10°LAO衬底上的La0.72Ca0.28MnO3:Ag0.2薄膜,在本实验中表现出了的最高TCR,约为18.46%·K-1。在一定激光能量范围内,薄膜的Up随着激光能量线性增加。所有系列薄膜都存在一个最佳厚度,此厚度下峰值电压最高。当薄膜厚度较低时,信号衰减时间常数较大,随着薄膜厚度增加,衰减时间常数呈现先减小后增加的趋势。
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