论文工作围绕光纤CATV系统使用的模拟光电探测器芯片的研制展开,针对模拟光电探测器芯片使用对象的特殊要求,对其参数设计、结构设计、制作工艺和测试原理进行了深入的研究,成功地研制并批量制作出了性能优良、成本低、可靠性高的模拟光电探测器芯片。在模拟PD芯片的失真参数进行系统理论分析的基础上,对探测器芯片外延层结构、图形结构和扩散条件进行了优化设计,得到了在850MHz条件下最大二阶失真小于-72dBc的低失真模拟PD芯片;采用特殊的凹形槽结构,避免了纯台面结构所固有的表面漏电大和平面结构所固有的分布参数大的问题;对模拟PD芯片制作过程中的化合物腐蚀工艺进行了研究,通过调整腐蚀液比例和自制的腐蚀系统,改善了腐蚀台型和腐蚀均匀性,提高了腐蚀效率,降低了制作成本;通过采用特殊的制作工艺对模拟PD的腐蚀台面进行表面钝化,有效的降低了芯片的暗电流,使制作芯片的平均暗电流小于5nA(Vr=15V);运用Jamp软件对测试参数结果进行统计分析,结果表明其CPK值均大于1,达到可生产的能力要求。