开关线式MEMS(微电子机械系统)移相器具有低损耗、宽频带、易集成、高隔离、高相移精度和结构简单等优点,广泛应用于移动通信、卫星通信、相控阵雷达等领域中。但目前由于工艺限制,器件样品的尺寸较大,并且加工过程还存在难点。本文以4位开关线式MEMS移相器为研究对象,对其结构设计、电磁和机械性能优化、微制造工艺等进行了研究。　　 对开关线式MEMS移相器进行了理论分析,确定了以MEMSSP4T(单刀四掷)开关作为移相器的通路选择开关、微带传输线作为相位延迟线的基本设计方案,分析、设计了开关线式MEMS移相器的关键部件一MEMS SP4T开关和传输线。　　 SP4T开关由4个悬臂梁接触式MEMS开关组成。理论分析了悬臂梁接触式MEMS开关结构参数对其电磁性能的影响,结构参数包括:传输线断开间距d,接触金属与传输线之间的垂直距离h,接触金属的宽度B。采用HFSS软件变参数仿真方法得到了各参数对电磁性能的影响趋势,为悬臂梁接触式MEMS开关的优化设计提供了依据,得到了初始结构参数。采用CoventorWare软件进行了悬臂梁接触式MEMS开关的机电耦合仿真,通过优化悬臂梁的结构参数降低其弹性系数,以满足驱动电压<27V的设计要求。　　 采用ADS软件中的Linecale工具确定了各相位延迟线的宽度和电长度。采用AutoCAD软件完成了移相器的整体结构的布局设计。采用ADS软件完成了移相器的级联仿真,得到了各相位的回波损耗和插入损耗曲线图；对270°相位延迟线进行了优化仿真,通过短截线匹配设计,使其回波损耗约为-28dB,满足了设计要求。　　 由于单片集成开关线式MEMS移相器的微加工工艺较为复杂,样品制作尚存在多方面的困难,又提出了在微波基板上微组装悬臂梁接触式MEMS开关的混合集成方案,得到了混合集成的4位开关线式MEMS移相器工艺样品,初步验证了移相器设计的正确性。