随着集成电路（integrated circuit,IC）行业的发展,自动测试设备（automatic test equipment,ATE）市场对集成电路测试仪的需求量越来越大。集成电路测试仪作为一种专业的测试仪器设备,其校准技术也亟待发展。集成电路测试仪的测试参数种类丰富,需要定期对其进行全面的校准,以保证各项参数的指标都能达到测试使用要求。本文设计的混合集成电路测试仪自动校准系统提供512个数字测试通道、32个模拟测试通道和8个电源测试通道,通过硬件控制与神经网络算法的配合完成对混合集成电路测试仪的全自动校准。本文从以下四个方面深入展开研究:1、根据参数特点设计参数测量与校准方法。混合集成电路测试仪的待校准参数包括12类直流参数和4类交流参数。除了数字通道间同步和电源测试模块的参数,其余参数的校准均采用“先校准输出,再校准输入”的方式,即先利用外接测量仪器对测试通道输出信号进行校准,再利用已经完成校准的信号实现测试通道输入信号的校准。2、根据校准方案设计硬件系统。硬件系统设计主要包括校准板结构及接口设计、继电器阵列及其控制电路设计、数字通道同步校准电路设计和本地通信总线设计。校准板作为整个硬件系统的核心部分,通过上位机下发的控制命令,既可以实现任意继电器的切换,满足测试仪的输入和输出信号的测量需求,也可以通过ARM对测量数据进行在线处理,实现校准系数的预测。3、针对混合集成电路测试仪设计自动校准流程。为了使得校准系统具备速度快、精度高的特点,需要在校准速度和测量精度之间作一个衡量,合理设计自动校准流程,包括总体校准流程、参数校准顺序和具体测试通道校准顺序。4、研究基于径向基函数（Radial Basis Function,RBF）神经网络算法的集成电路校准技术并实现其工程应用。通过MATLAB仿真,比较反向传播（Back Propagation,BP）神经网络和RBF神经网络在测试和验证阶段具有的不同性能,确定将RBF算法应用于混合集成电路测试仪的自动校准系统。详细阐述了RBF算法的工程应用,包括RBF算法的实现过程、数据管理和校准系统软件操作步骤。将自动校准系统应用于混合集成电路测试仪,测试结果满足指标要求,说明本文设计的混合集成电路测试仪自动校准系统具备可行性和应用价值。