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随着电子信息技术向高集成化、小型化、薄膜化及高频化方向发展,越来越多的元件要求集成在更小的基片上。为了减小电子系统的整体尺寸和重量,发展薄膜器件无疑成为满足要求的实用方法。微波软磁薄膜具有良好的磁性能,如高的饱和磁化强度4πMs,高的磁导率μ和低的阻尼常数α。因此,由软磁薄膜组成的电感器其电感将显著增强,并且在单片微波集成电路中所需空间大大地减少。但是,外加磁场通常具有大的重量或高的功率消耗,这在集成电路中很难满足小型化,轻量化和低功耗的性能要求。因此,具有磁各向异性的金属软磁薄膜吸引了越来越多的关