【摘 要】
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鉴于常规能源供给的有限性和环保压力的增加。世界上许多国家掀起了开发和利用新能源的热潮。在新能源中。特别引人瞩目的是不断地倾注于地球的永久性能源——太阳能。太阳能
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鉴于常规能源供给的有限性和环保压力的增加。世界上许多国家掀起了开发和利用新能源的热潮。在新能源中。特别引人瞩目的是不断地倾注于地球的永久性能源——太阳能。太阳能是一种干净、清洁、无污染、取之不尽用之不竭的自然能源。将太阳能转换为电能是大规模利用太阳能的重要技术基础。在太阳能电池工艺中，减反射膜的特性对太阳能电池的转换效率有很大的影响。业界通常采用等离子体增强气相沉积法制备氮化硅作为多晶硅太阳电池的减反膜，本文通过理论以及实验模拟了双层氮化硅的光学参数，实际测试情况和理论模拟吻合良好。电池IV参数表明双层氮化硅不但具有更佳的减反射效果而且表面钝化效果也有所增强。
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