先氧化后扩镓工艺提高扩散质量的分析

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在3DD系列高反压管生产中,采用先氧化后扩镓工艺,避免了合金点和腐蚀坑的产生,提高了扩散质量,本文对提高扩散质量进行了分析. In the 3DD series of high pressure pipe production, using the first post-oxidation gallium oxide process to avoid the alloy point and corrosion pits to produce and improve the diffusion quality, the paper to improve the diffusion quality analysis.
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