【摘 要】
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Mechanical properties of structural materials are particularly important for design,performance realization and reliability analysis of microelectromechanical s
【机 构】
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KeyLaboratoryforMicro/NanoTechnologyandSystemofLiaoningProvince
【基金项目】
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This project is supported by National Natural Science Foundation of China （Grant No. 50535030）, and National Basic Research Program of China （973 Program, Grant No. 2006CB300407）
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Mechanical properties of structural materials are particularly important for design,performance realization and reliability analysis of microelectromechanical systems (MEMS). Furthermore,accurate database of mechanical properties at the micro scale can pr
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