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当前,在5G、云计算、人工智能以及大数据等需求的强力推动下,作为基础工艺的集成电路制造技术发展迅猛,器件的关键尺寸不断缩小,同时一些新的高迁移率材料也被引入制造当中,用以提高器件的性能并降低功耗,这其中,Ge材料作为一类高迁移率材料最为业内关注。
JPV(结光电压)技术及其在硅基外延材料掺杂中的应用研究
【摘 要】
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当前,在5G、云计算、人工智能以及大数据等需求的强力推动下,作为基础工艺的集成电路制造技术发展迅猛,器件的关键尺寸不断缩小,同时一些新的高迁移率材料也被引入制造当中,用以提高器件的性能并降低功耗,这其中,Ge材料作为一类高迁移率材料最为业内关注。
【机 构】
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北方工业大学,中国科学院微电子研究所
【出 处】
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电子世界
【发表日期】
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2021年18期
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