【摘 要】
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在半导体工业的发展过程中,包括研究、探测、修正、加工和标识半导体器件,光源已经起着关键的作用。在那个进程中,准分子激光加工算是最新的一步。 一定光谱范围的非相干光
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在半导体工业的发展过程中,包括研究、探测、修正、加工和标识半导体器件,光源已经起着关键的作用。在那个进程中,准分子激光加工算是最新的一步。 一定光谱范围的非相干光源,长久以来在光刻和检验中已经起了不可估价的作用。当可以得到相干光源时,由于其高的峰值强度、高的平均功率、可控的空间特性和频谱纯度等优点,使得它们成为商业应用的明显的候选光源。
Light sources have played a key role in the development of the semiconductor industry, including research, detection, modification, processing and labeling of semiconductor devices. In that process, excimer laser processing is the latest step. Incoherent light sources of a certain spectral range have long been invaluable in lithography and inspection. When coherent light sources are available, they are a clear candidate light source for commercial applications due to their high peak intensity, high average power, controlled spatial properties and spectral purity.
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