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研制了一种用于WDM光通信系统的多层介质膜Fabry-Perot腔结构式光开关，面积为1．5mm×1.5mm。光开关采用多层复合膜消除内应力，防止产生过度变形；中心的十字复合梁有利于提高机械灵敏度，降低驱动电压。体硅腐蚀出的硅杯既减小了光开关的插损，又便于端面输入输出光纤的精确对准与固定，有效降低封装成本。制成的开关转换电压为20V，关态隔离度为87％，开态插损为0．15dB。其结构和工艺简单，易于与IC工艺相结合形成规模生产，如增加膜的层数便能制成基于F－P干涉仪结构的滤波器。