【摘 要】
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美国加利福尼亚洲的Optimetrix公司最近研制成功Optistep系列分步重复投影曝光系统。该系统包括三台设备,即8010型10:1直接在片子上曝光系统和,8007型7:1直接在片子上曝光系
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美国加利福尼亚洲的Optimetrix公司最近研制成功Optistep系列分步重复投影曝光系统。该系统包括三台设备,即8010型10:1直接在片子上曝光系统和,8007型7:1直接在片子上曝光系统和8001型1:1投影曝光系统。 8010型10:1曝光系统是一台能直接同GCA公司的Mann4800DSW系统相竞争的设备,它采
Optimetrix, Inc. of California, USA recently developed the Optistep series of step-and-repeat projection exposure systems. The system includes three devices, the 8010 10: 1 directly on the film exposure system and the 8007 7: 1 directly on the film exposure system and the 8001 1: 1 projection exposure system. The Model 8010 10: 1 Exposure System is a device that competes directly with the GCA Mann4800DSW system. It features
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