【摘 要】
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ISO 16063-16描述的地球重力法只能用于低频加速度计灵敏度幅值静态校准，无法用于灵敏度幅值与相位的动态校准。采用机器视觉方法测量激励加速度相位，并得到对应时刻的加速度计输出信号相位，该方法可同时实现基于地球重力法的灵敏度幅值与相位动态校准。该方法测量时由转台为被校加速度计提供峰值恒定为1g的正弦激励加速度，有效避免了低频时微小激励加速度引起的加速度计输出低信噪比信号对校准精度的影响。实验结
【基金项目】
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国家重点研发计划（2017YFF0205003）； 质量技术监督能力提升专项（ANL1820）；
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ISO 16063-16描述的地球重力法只能用于低频加速度计灵敏度幅值静态校准，无法用于灵敏度幅值与相位的动态校准。采用机器视觉方法测量激励加速度相位，并得到对应时刻的加速度计输出信号相位，该方法可同时实现基于地球重力法的灵敏度幅值与相位动态校准。该方法测量时由转台为被校加速度计提供峰值恒定为1g的正弦激励加速度，有效避免了低频时微小激励加速度引起的加速度计输出低信噪比信号对校准精度的影响。实验结果表明，地球重力法可实现从静态（DC）至10 Hz范围内的灵敏度幅值与相位高精度校准。
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