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简要介绍一种控制高温氧化物晶体和生长设备，通过与国内外同类炉型相比较，着重对该设备的机构结构设计特点及电气控制系统作较详细的说明。
TDL—J75高温氧化物晶体炉的研制
【摘 要】
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简要介绍一种控制高温氧化物晶体和生长设备，通过与国内外同类炉型相比较，着重对该设备的机构结构设计特点及电气控制系统作较详细的说明。
【机 构】
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西安理工大学晶体生长设备研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1999年3期
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