【摘 要】
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介绍了在制绒前使用双氧水＋低浓度碱液＋超声的预清洗工艺的新方法。与常规的预清洗工艺相比,新的预清洗工艺避免了生产过程中的漂篮现象,改善了硅片表面的清洁质量,降低了表面
【基金项目】
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国家863项目(2011AA050502)
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介绍了在制绒前使用双氧水＋低浓度碱液＋超声的预清洗工艺的新方法。与常规的预清洗工艺相比,新的预清洗工艺避免了生产过程中的漂篮现象,改善了硅片表面的清洁质量,降低了表面微粗糙度。通过扫描电子显微镜（SEM）观察,使用双氧水预清洗后的制绒绒面金字塔尺寸小而均匀,反射率也有所降低。新预清洗工艺制绒后的硅片增加了对入射光的吸收,有利于提高电池短路电流,对提升电池光电转换效率有重要意义。
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