【摘 要】
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离子束刻蚀机是一个产生大面积离子束的对工件表面进行微细加工的设备。它是由离子源、真空室、配电和控制系统组成的。在一定的真空条件下,离子源产生大面积离子束,用这种
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离子束刻蚀机是一个产生大面积离子束的对工件表面进行微细加工的设备。它是由离子源、真空室、配电和控制系统组成的。在一定的真空条件下,离子源产生大面积离子束,用这种离子束轰击各种固体表面,固体表面就会被剥蚀掉。
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