【摘 要】
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本文简要介绍了自动椭偏仪的系统结构和硬件电路设计，着重叙述仪器的软件设计。
This article briefly introduced the automatic ellipsometer system architecture and har
【机 构】
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华南师范大学物理系,广东省公安厅科技处
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本文简要介绍了自动椭偏仪的系统结构和硬件电路设计，着重叙述仪器的软件设计。
This article briefly introduced the automatic ellipsometer system architecture and hardware design, focusing on the description of the instrument software design.
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