【摘 要】
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利用扫描电子显微镜(SEM)观察了气相外延GaN:Zn晶片的表面形貌、Zn浓度分布和阴极射线发光微区光谱及其MIS结构的电致发光微区光谱.研究表明,Zn杂质掺入GaN可以形成四种能量位置的发光中心;它们的形成
【机 构】
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中国科学院长春物理研究所,中国科学院激发态物理开放研究实验室,沈阳工业大学
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利用扫描电子显微镜(SEM)观察了气相外延GaN:Zn晶片的表面形貌、Zn浓度分布和阴极射线发光微区光谱及其MIS结构的电致发光微区光谱.研究表明,Zn杂质掺入GaN可以形成四种能量位置的发光中心;它们的形成与Zn浓度和晶体的微区结构有关;二者的不均匀决定了发光的不均匀性.
The surface morphology, Zn concentration distribution, cathodoluminescence micro-area spectra and electroluminescence micro-area spectra of the MIS structure were observed by scanning electron microscopy (SEM). The results show that the incorporation of Zn into GaN can form luminescent centers at four energy sites; their formation is related to the Zn concentration and the crystal structure of the microstructure; the non-uniformity of the two determines the luminescence inhomogeneity.
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