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介绍了离子束刻蚀技术的特点及其基本原理,并以某型号离子束刻蚀机为例,重点介绍了该设备组成结构与工作原理.同时,根据以往维修经验,总结归纳了该设备的常见故障,并对故障原因进行了深入分析,给出了相应的解决措施.
离子束刻蚀技术与设备常见故障分析
【摘 要】
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介绍了离子束刻蚀技术的特点及其基本原理,并以某型号离子束刻蚀机为例,重点介绍了该设备组成结构与工作原理.同时,根据以往维修经验,总结归纳了该设备的常见故障,并对故障原因进行了深入分析,给出了相应的解决措施.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄 050051
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2021年5期
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