【摘 要】
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重氮萘醌系正性抗蚀剂“增感”的进展余尚先＊顾江楠童晓方慧聪（北京师范大学化学系，北京１００８７５）关键词重氮萘醌，正性抗蚀剂，多酚化合物，高感度，Ｍ／Ａ值控制规律近年来有关重氮萘醌系正性抗蚀剂提
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重氮萘醌系正性抗蚀剂“增感”的进展余尚先＊顾江楠童晓方慧聪（北京师范大学化学系，北京１００８７５）关键词重氮萘醌，正性抗蚀剂，多酚化合物，高感度，Ｍ／Ａ值控制规律近年来有关重氮萘醌系正性抗蚀剂提高感度的研究文献综述均对应用较为成功的多酚化合物作了较为...
Advances in “Sensitization” of Diazonaphthoquinone-Based Positive Resists Yu Shangxian * Gu Jiangnan Tong Xiaofang Huicong (Department of Chemistry, Beijing Normal University, Beijing 100875) Key words diazonaphthoquinone, positive resist, polyphenols, high sensitivity , M / A value control law in recent years on the diazo naphthoquinone series of positive resist to improve the sensitivity of the literature review are more successful application of polyphenolic compounds made more ...
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The wine drinker
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