【摘 要】
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本文简述了平行光束倾斜入射在两相近表面产生等厚干涉条纹测量平面度的原理,从而设计出一种等厚干涉条纹格值(指等厚干涉条纹所对应的厚度间隔)可变化的新型平面度测试仪。
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本文简述了平行光束倾斜入射在两相近表面产生等厚干涉条纹测量平面度的原理,从而设计出一种等厚干涉条纹格值(指等厚干涉条纹所对应的厚度间隔)可变化的新型平面度测试仪。本仪器主要适用于 LSI 和 VLSI 制造技术中测量抛光硅片、掩模版和超微粒照相版的平面度、也可用来测量光学玻璃、金属、陶瓷和 GaAs 等材料制成板的平面度。
In this paper, the principle of flatness of equal-thickness interference fringes generated by oblique incidence of parallel beams on two adjacent surfaces is briefly described. A new type of equal-thickness interference fringe grids (referring to the thickness intervals corresponding to equal thickness interference fringes) can be designed Flatness Tester. This instrument is mainly suitable for measuring the flatness of polished silicon, reticle and ultrafine particle photographic plates in LSI and VLSI manufacturing technology. It can also be used to measure the flatness of plates made of materials such as optical glass, metal, ceramic and GaAs.
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