【摘 要】
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主要研究了柔性铰链微动工作台的特性及其在精密和超精密加工中的应用.通过分析柔性铰链的特性,就柔性铰链微动工作台的设计进行阐述,并对其精度进行分析.
【机 构】
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主要研究了柔性铰链微动工作台的特性及其在精密和超精密加工中的应用.通过分析柔性铰链的特性,就柔性铰链微动工作台的设计进行阐述,并对其精度进行分析.
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