【摘 要】
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报道了对柔性衬底非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的研究结果。首先采用等离子体化学气相沉积（PECVD）方法在不锈钢柔性衬底上制备了微晶硅太阳电池,发现合适的硅烷浓度和引入Ag/ZnO
【基金项目】
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上海市博士后科研资助计划项目（08R21420200）, 上海市引进技术的吸收与创新计划项目（07XI2-016）致谢：感谢中国科学院半导体研究所廖显伯、向贤碧两位老师给予的帮助.
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报道了对柔性衬底非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的研究结果。首先采用等离子体化学气相沉积（PECVD）方法在不锈钢柔性衬底上制备了微晶硅太阳电池,发现合适的硅烷浓度和引入Ag/ZnO背反射镜可提高微晶硅太阳电池的性能,使之作为叠层太阳电池的底电池。然后将不同厚度的硅基p＋/n＋隧穿结应用于非晶硅/微晶硅叠层太阳电池,分析了其对太阳电池电学和光学特性的影响,发现p＋层厚度增加后,电池的开路电压提高,短路电流密度减小;随着n＋层厚度的变化,电池的短路电流密度和填充因子均存在最佳值。获得了光电转换效率为11.26%（
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