【摘 要】
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激光制备Ｓｉ３Ｎ４纳米粉是国内制备纳米材料的主要方法之一，本文概述了激光合成过程中、光学系统装置的设计原理、研制要点及解决关键部件的工艺加工方法。
Laser preparation of Si3
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激光制备Ｓｉ３Ｎ４纳米粉是国内制备纳米材料的主要方法之一，本文概述了激光合成过程中、光学系统装置的设计原理、研制要点及解决关键部件的工艺加工方法。
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