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用氩离子束镀膜法制备BaTiO3Si/结构,并在400 ̄900℃的温度下用氮气保护进行退火,用常规蒸铝技术制成Al/BaTiO3/Si湿度传感器。用俄歇电子能谱分析BaTiO3膜的化学组分。采用高频电容-电压测试仪测定BaTiO3/Si结构的固定电荷密度,分析固定电荷密度与退火的关系。结果表明:固定电荷密度达10^11cm^-2数量级。经900℃、60分钟退火后固定电荷密度下降至19%到20%。随