【摘 要】
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本文利用液相外延方法,在较大组分范围内(0≤x≤0.17,0≤y≤0.12),成功地生长出了晶格匹配于(100)GaSb衬底的In_xGa_(1-x)As_ySb_(1-x)四元材料,并对其性质进行了实验观察和
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所 北京,北京,北京
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本文利用液相外延方法,在较大组分范围内(0≤x≤0.17,0≤y≤0.12),成功地生长出了晶格匹配于(100)GaSb衬底的In_xGa_(1-x)As_ySb_(1-x)四元材料,并对其性质进行了实验观察和研究。结果表明,这种表面光亮、层厚均匀、异质结界面平直以及纯度较高、完整性好的外延薄膜是制作超长波长光电器件的理想材料。
In this paper, we successfully grow In_xGa_ (1-x) lattice-matched (100) GaSb substrates by liquid-phase epitaxy in a large range of composition (0≤x≤0.17, 0≤y≤0.12) As_ySb_ (1-x) quaternary material, and its properties were experimentally observed and studied. The results show that this kind of epitaxial film with bright surface, uniform thickness, straight interface of heterojunction, high purity and good integrity is the ideal material for producing ultra-long wavelength photoelectric devices.
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