【摘 要】
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本专利提供一种温度梯度烧结炉,它由封闭罩(1)、耐温底板(2)和电阻加热元件(3)等组成。封闭罩可通过冲洗气体;耐温底板用刚玉制成,其顶部表面上有若干个用于固定晶片的圆形
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本专利提供一种温度梯度烧结炉,它由封闭罩(1)、耐温底板(2)和电阻加热元件(3)等组成。封闭罩可通过冲洗气体;耐温底板用刚玉制成,其顶部表面上有若干个用于固定晶片的圆形凹陷区(4);电阻加热元件位于耐温底板内。
This patent provides a temperature gradient sintering furnace which consists of an enclosure (1), a temperature-resistant floor (2) and a resistance heating element (3). The enclosure is made of flushing gas; the temperature-resistant floor is made of corundum and has a number of circular depression (4) on the top surface for holding the wafer; the resistance heating element is located in the temperature-resistant floor.
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