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Analytical Determination of Collisionless Sheath Properties for Triple Frequency Capacitively Couple
Analytical Determination of Collisionless Sheath Properties for Triple Frequency Capacitively Couple
来源 :黑龙江科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:muyi_wang
【摘 要】
:
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7
【作 者】
:
M.T.RAHMAN
M.N.A.DEWAN
【机 构】
:
Department of Electrical and Electronic Engineering,Bangladesh University of Engineering and Technol
【出 处】
:
黑龙江科技学院学报
【发表日期】
:
2015年2期
【关键词】
:
capacitively coupled plasma
collisionless sheath
triple frequency
sheath paramet
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为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7<
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