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根据椭偏消光法和光度法原理,研制成功一台消光法和光度法兼容的自动椭偏测厚仪.本文介绍椭偏光度法的测量原理和仪器的测量过程及方法,并详细给出仪器测量精确度的实验研究结果.
自动椭偏测厚仪测量精确度的实验研究
【摘 要】
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根据椭偏消光法和光度法原理,研制成功一台消光法和光度法兼容的自动椭偏测厚仪.本文介绍椭偏光度法的测量原理和仪器的测量过程及方法,并详细给出仪器测量精确度的实验研究
【机 构】
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华南师范大学物理系
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2004年4期
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