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本文分别对同质和异质基材气相沉积法(CVD法)金刚石膜的形成机理进行论述,进而阐述了对金刚石膜合成的指导意义。
气相沉积法金刚石膜的合成机理
【摘 要】
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本文分别对同质和异质基材气相沉积法(CVD法)金刚石膜的形成机理进行论述,进而阐述了对金刚石膜合成的指导意义。
【机 构】
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郑州工业高等专科学校材料工程系,郑州工业高等专科学校材料工程系郑州450007,郑州450007
【出 处】
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郑州工业高等专科学校学报
【发表日期】
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1998年1期
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