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期刊论文
SiGeHBTs高频特性模拟分析
SiGeHBTs高频特性模拟分析
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:countrygary
【摘 要】
:
本文详细分析了下述问题(1)在基区厚度减薄到几十纳米后,发射区时间常数,集电区时间常数对SiGeHBTs的高频特性的影响;(2)低掺杂浓度发射区层对发射区渡越时间的影响;(3)在发射结构耗尽层中,除了固定
【作 者】
:
赵立新
沈光地
【机 构】
:
北京工业大学电子工程系
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1999年6期
【关键词】
:
锗化硅
HBTS
外延生长
高频特性
模拟分析
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本文详细分析了下述问题(1)在基区厚度减薄到几十纳米后,发射区时间常数,集电区时间常数对SiGeHBTs的高频特性的影响;(2)低掺杂浓度发射区层对发射区渡越时间的影响;(3)在发射结构耗尽层中,除了固定电荷因素引起的电容外,发射结正常工作向偏压时,由于自由载流子流入引起的EB结电容。
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